真空与洁净环境中的光机选型

普通油脂和某些塑料可能不适合高真空；洁净室要减少掉屑镀层。

背景与原理

优先选择标注真空兼容或洁净等级的组件，并按规范清洗包装。

实施要点

进腔前完成烘烤与检查。

工程建议

保留物料证明，便于工艺审计。

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参考资料

• Thorlabs：Vacuum Optomechanics
• Edmund Optics：Cleanroom Optics

本文根据公开技术资料进行中文原创整理，仅供选型与科普参考；具体产品参数、安装规范和安全要求请以制造商数据表及适用标准为准。